更高產(chǎn)能可達到8000pcs/h
可根據(jù)客戶需求選配在線隱裂檢測
特制精密陶瓷吸盤,減少硅片劃傷
技術(shù)參數(shù) | |
---|---|
技術(shù)參數(shù) | 相關(guān)參數(shù) |
產(chǎn)能 | 4000/6500/8000 pcs/h |
硅片列數(shù) | 5/8/10 |
硅片尺寸 | 166mm-210mm |
適用花籃 | 100 cassette |
碎片率 | ≤0.03% |
開機率 | ≥98% |
耗氣量 | 200L/min |
具體參數(shù)如有變動,本公司不另行通知! |
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