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擴散/氧化/退火上下料機

產(chǎn)品特點

最高產(chǎn)能可達到16000pcs/h

可根據(jù)客戶需求進行配置

特制精密陶瓷吸盤,陶瓷頂齒,陶瓷側(cè)齒,減少硅片劃傷,保證設(shè)備的穩(wěn)定性

技術(shù)參數(shù)

技術(shù)參數(shù)相關(guān)參數(shù)
產(chǎn)能8000/11000/16000 pcs/h
石英舟規(guī)格 1000/1200/1600槽 ,節(jié)距2.38mm
硅片尺寸 166mm-210mm
適用花籃100 cassette
碎片率≤0.03%
開機率≥98%
耗氣量1000L/min
具體參數(shù)如有變動,本公司不另行通知!
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